421.一百在简述化学机械抛光技术的基础上,提出化学机械抛光过程中,受载的粗糙峰和被抛光的晶片表面之间存在一纳米量级的薄流体膜,形成了纳米级薄膜流动系统。
422.具有优良的弹性、磨性和抛光效率。
423.磨料水射流抛光是新出现的一种精密加工技术。
421.一百在简述化学机械抛光技术的基础上,提出化学机械抛光过程中,受载的粗糙峰和被抛光的晶片表面之间存在一纳米量级的薄流体膜,形成了纳米级薄膜流动系统。
422.具有优良的弹性、磨性和抛光效率。
423.磨料水射流抛光是新出现的一种精密加工技术。